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ASML 最初是由电子巨头飞利浦（Philips）和先进半导体材料国际公司（ASMI）合作成立的，目标是专注于光刻系统这一新兴市场。1984 年，ASML 在荷兰埃因霍温的飞利浦旧园区 Strijp-T 成立，其第一个基地就是那座名副其实的“漏雨棚屋”。这座单层预制建筑与飞利浦 TQ 大楼的一楼相连，而 TQ 大楼是飞利浦“工业电子”部门的所在地。当时，由于 ASML 的第一套系统 PAS 2000 光刻机的液压油泵噪音极大，团队不得不将油泵放置在小屋外的集装箱中，以维持正常工作环境。

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